Thamani inayolengwa ya unyevunyevu katika chumba safi cha semiconductor (FAB).

Thamani inayolengwa ya unyevu wa kiasi katika chumba safi cha semiconductor (FAB) ni takriban 30 hadi 50%, ikiruhusu ukingo finyu wa hitilafu ya ±1%, kama vile katika eneo la lithografia - au hata kidogo katika usindikaji wa mbali wa ultraviolet (DUV) eneo - wakati mahali pengine inaweza kupunguzwa hadi ± 5%.
Kwa sababu unyevunyevu kiasi una sababu mbalimbali zinazoweza kupunguza utendaji wa jumla wa vyumba safi, ikiwa ni pamoja na:
1. Ukuaji wa bakteria;
2. Kiwango cha faraja ya joto la chumba kwa wafanyakazi;
3. Malipo ya umeme yanaonekana;
4. kutu ya chuma;
5. Condensation ya mvuke wa maji;
6. Uharibifu wa lithography;
7. Kunyonya kwa maji.

Bakteria na uchafu mwingine wa kibiolojia (uvuvi, virusi, kuvu, sarafu) zinaweza kustawi katika mazingira yenye unyevunyevu wa zaidi ya 60%. Baadhi ya jumuiya za bakteria zinaweza kukua kwa unyevu wa jamaa wa zaidi ya 30%. Kampuni hiyo inaamini kuwa unyevu unapaswa kudhibitiwa katika anuwai ya 40% hadi 60%, ambayo inaweza kupunguza athari za bakteria na maambukizo ya kupumua.

Unyevu wa jamaa katika anuwai ya 40% hadi 60% pia ni anuwai ya wastani kwa faraja ya mwanadamu. Unyevu mwingi unaweza kuwafanya watu wajisikie kuwa wameziba, wakati unyevu chini ya 30% unaweza kuwafanya watu wahisi kavu, ngozi iliyochanika, usumbufu wa kupumua na kutokuwa na furaha kihisia.

Unyevu mwingi hupunguza mkusanyiko wa chaji za kielektroniki kwenye uso wa chumba safi - matokeo yanayotarajiwa. Unyevu wa chini ni bora kwa mkusanyiko wa chaji na chanzo kinachoweza kuharibu cha utiririshaji wa kielektroniki. Wakati unyevu wa jamaa unazidi 50%, chaji za umemetuamo huanza kutoweka kwa kasi, lakini wakati unyevu wa jamaa ni chini ya 30%, zinaweza kudumu kwa muda mrefu kwenye kizio au uso usio na msingi.

Unyevu kiasi kati ya 35% na 40% unaweza kutumika kama maelewano ya kuridhisha, na vyumba safi vya semiconductor kwa ujumla hutumia vidhibiti vya ziada ili kupunguza mlundikano wa chaji za kielektroniki.

Kasi ya athari nyingi za kemikali, ikiwa ni pamoja na michakato ya kutu, itaongezeka kwa ongezeko la unyevu wa jamaa. Nyuso zote zilizo wazi kwa hewa karibu na chumba safi ni za haraka.